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第644章 掩膜台困局!单日3482亿?老马:我

愿你在这里,遇见真正值得阅读的故事。

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  一套完整的反射式光学系统由收集镜、照明系统、投影物镜系统、掩膜版和掩膜台组成。

  缺一不可!

  前面几项技术都啃下来了,只剩最后一个掩膜台。

  这玩意是光刻机中固定掩膜版,并可以实现高精度移动的机械结构,相当于掩膜版的“智能工作台”。

  就像一个高速运转、且不晃动的云台!

  只不过,掩膜台对速度、精度的要求,是相机云台的数千倍、数万倍。

  用大白话来说,掩膜台其实是一个专门“托着掩膜版干活、还得保证它动得又准又稳”的高精度工作台。

  比如你要在蛋糕上印图案,掩膜版是那张带图案的模板,而掩膜台是用于摆放这块模板的支架。

  它的核心作用是,稳稳托住掩膜版,再按要求精准移动,确保芯片电路能清晰、准确地印在硅片上。

  林南脸上的笑容一滞,苦涩一笑:“老板,胡老帮我们联系了清华和华卓精科团队,这两家在掩膜台领域的制造工艺,勉强能达到45纳米。”

  光刻机的更新换代是跳跃式的!

  别看45纳米和28纳米之间,仅有几代的差距,但28纳米工艺的掩膜台,在速度、加速度、精度和稳定性上的研发难度比45纳米节点高出了几十倍。

  全球唯有尼康、佳能和阿斯麦三家的掩膜台,能支持28纳米的工艺制程,而28纳米以上,仅有阿斯麦一家。

  而掩膜台通常是作为光刻机整体设备的一部分进行研发和生产的,一般不会单独对外销售。

  沉吟半晌后,陈延森缓缓开口:“华卓精科对28纳米掩膜台的研发,有没有具体的技术方向?”

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